振動感測器/漏液感測器/其他感測器

▶振動感測器

即使在線性輸出的情況下仍可測量設備‧機械的振動狀態或異常的感測器。從些微振動到大幅振動的惡劣環境下均可測量

振動感測器有以下的1產品

▶接觸感測器

以1μm的高精度來測量/判別尺寸的接觸感測器。在測量時的滑動動作上具備高度堅韌性,再加上輕巧的機體,可支援各種測量用途。

接觸感測器有以下的1產品

▶漏液感測器

備有帶狀‧點狀‧耐化學藥品/溫度型等多種漏液感測器。普遍使用於半導體製造裝置與無塵室等

漏液感測器有以下的4產品